ウェーハを破壊するようなランプの故障を防ぎましょう。
ウェーハの硬化処理中にランプが故障すると、単なる停止時間の問題だけでは済みません。それは本当に厄介な状況です。
重負荷の下で石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがシリコン上に降り注ぎます。これは大変な混乱を招きます。だからこそ、私たちの反射器は単なる光を反射する金属片以上のものとして設計されています。それは、最前線での防御装置なのです。
混乱を抑え込む
私たちは、反射器に「深皿型」の形状を採用しています。これにより、ランプをしっかりと覆うことができます。これは単に光を正しい方向に反射させるだけではありません。もし管が故障しても、ハウジングが破片を受け止めてくれます。
加熱要素をウェーハから分離することで、破片が装置内に留まり、生産ライン全体に散らばることがありません。
より賢く動作させる
高負荷環境下で石英管を限界まで使うのは危険です。これに対処するため、高純度のアルミニウムや金のコーティングを使用し、IR光の反射率を最大限に引き出します。
ポイントは、反射効率が高いため、より低い温度で運転してもウェーハに同じくらいの熱が与えられるということです。熱が少なければ、ガラスにかかる内部圧力も減ります。そして、圧力が少なければ、管がすぐに壊れることもありません。
知っておくべき取引のバランス
完璧なものはありません。深い形状の反射器は、より良い封じ込め効果と集中した熱供給を実現しますが、スペースを多く取ります。導入する前に、機械のスペースをしっかり確認してください。
また、これらの反射器は破片を防ぐのに優れていますが、ランプの端辺部に熱が溜まる可能性があります。冷却ファンがしっかりと空気を流しているか確認してください。そうしないと、ソケットが溶けてしまう可能性があります。
私たちは、24時間365日稼働する工場で耐えられるようにこれらの製品を作っています。古い機械に取り付ける場合は、ワット数が反射器の耐熱性能に合っているか必ず確認してください。初日からハウジングが変形してしまっては元も子もありません。