ウェーハを破壊するようなランプの故障を防ぎましょう。 ウェーハの硬化処理中にランプが故障すると、単なる停止時間の問題だけでは済みません。それは本当に厄介な状況です。 重負荷の下で石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがシリコン上に降り注ぎます。これは大変な混乱を招きます。だからこそ、私たち...

IRランプによってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。 高負荷運転中にランプが壊れてしまったことがある人なら、その苦労はわかるでしょう。問題は単に停止時間だけではありません。むしろ、発生する破片やヘラジオンガスがシリコン表面に降り注ぐことが大きな問題です。一度でもランプが爆発すれば、二次的な汚染が...

化学的な洗浄後にMEMSセンサーワークを乾燥させるのは、非常に危険な作業です。なぜでしょうか？それは、まるで火遊びをしているようなものだからです。空気中に可燃性や爆発性のある化学物質の蒸気が漂っている状態では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要因となります。わずかな火花や、端子の...

なぜウェーハの処理に赤外線硬化法を使用するのか 乾燥や硬化の仕組みについて話しましょう。半導体業界では、従来の重化学工法や有害な化学溶剤を使う方法はほとんど使われなくなりました。代わりに、赤外線技術が利用されています。 これにより、環境への負担も少なくなります。直接的な放射エネルギーを利用すること...

なぜ古いオーブンを捨てて赤外線硬化法を採用するのか？ 長年にわたり、半導体の製造には巨大な対流式オーブンが使われてきました。しかし正直なところ、それらはもはや時代遅れです。今では、赤外線硬化法が主流になっています。それは、現在多くの人々が目指している「環境に優しい」「鉛を含まない」といった要件を満...

製造現場では、ウェーハが洗浄液から取り出された瞬間からタイマーが動き始めます。残留水分は大きな問題です。すぐに汚れが発生し、わずかな水滴でも生産ライン全体を台無しにしてしまうことがあります。設定温度を常に維持できるヒーターが必要です。ウェーハ全体にわたって、常に一定の温度を保つことが求められます。...

300mmラインにおいて、フォトレジストのベークは熱予算を確定する工程である。エッジの過熱や冷却、ハードベーク中の温度ドリフトが発生すると、CDの均一性が崩れ、不良が積み上がる一方でスケジューラーは同じロットを繰り返し投入し続ける。そこで、300mmウェハ用IR加熱モジュールを開発し、その変動要因...