半導体ヒーター用熱電対

「ガラスの雨」を防ぐ：IRランプの故障に対するより良い対処法 高負荷の半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や短時間の停止だけでは済みません。それはまさに悪夢です。石英管が割れると、単に電球が壊れただけでなく、破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。このような二次的な汚染によって...