半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に部品を交換すれば済むというわけではなく、破損によって生じる混乱も問題です。 クォーツチューブがウェーハカートリッジ上で破裂すると、ガラスの破片や金属酸...