シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に部品を交換すれば済むというわけではなく、破損によって生じる混乱も問題です。 クォーツチューブがウェーハカートリッジ上で破裂すると、ガラスの破片や金属酸...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 もしご自身が半導体製造工場を運営しているなら、汚染された製品ができてしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、加熱要素から粒子やガスが放出されてはいけません。そんなことは絶対に起こってはいけないのです。 一般的なIRランプは、...

なぜクリーンルームでは強制送風式の加熱装置を使わず、赤外線ヒーターを採用するのか？ ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式の加熱装置が使われている。これは昔からのやり方で、まず空気を温め、その空気が部品を温めることを期待するのだ。しかし問題は、この方法では時間がかかりすぎることだ。莫...

なぜクリーンルーム内のヒーターにおいて電気的な安全性が重要なのか クリーンルームでは、「小さな」間違いというものは許されません。わずかな電気アークや絶縁不良でも、ヒーターを壊すだけでなく、全体の環境を台無しにしてしまいます。すべてが汚染されてしまうのです。これは誰も望むような状況ではありません。...