ワットを無駄にしないために：金コーティングされたUHPランプの秘密 半導体ウェーハの加工において、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題だけでなく、設計上の欠陥でもあります。 一般的なUHPランプでは、放射能があらゆる方向に放出されます。これは非効率的です。そのエネルギーのほんのわずかしかウェー...

300mmラインでは、ソフトベイクの際に温度が半度程度変動するだけで、重要な寸法の基準を満たせなくなり、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。そのため、超純水を加熱するためのランプは単なる付属品ではありません。それは、クラス1～100の清浄室内でフォトレジストの処理を安定させるための重要な要素...