もう、無駄な時間を過ごすのはやめましょう。なぜなら、赤外線加熱こそが製造ラインにとって最適な解決策だからです。
多くの古い半導体製造ラインでは、依然として強制送風式の加熱方法が使われています。これは効率の悪い方法で、空気を送り込んでチャンバー全体を温め、その後はただ待つしかありません。実質的には、ウェーハが対流によって温まるのを待っているだけで、これにより生産スピードが大幅に低下します。
私たちは違った方法を採用しています。つまり、従来の送風機の代わりに、高強度の赤外線ランプを精密な石英ガラス製のシールドの後ろに配置するのです。
待つことの真のコスト
強制送風式の加熱では、空気が抵抗となり、部品を覆ってしまい、全体的に処理速度が遅くなります。 一方、赤外線加熱では、空気の影響を受けず、光子が直接フィラメントから対象物に届きます。つまり、瞬時に加熱されるのです。
考えてみてください。10分かかっていた加熱時間を1バッチあたり30秒に短縮できれば、生産のボトルネックは解消されます。それは大変な時間の節約になります。
クォーツの秘密
なぜ石英ガラス製のシールドを使うのか疑問に思うかもしれません。実際、通常のガラスでは、ランプが最大出力で動作するとすぐに溶けたり割れたりしてしまいます。 しかし、クォーツは異なります。高温に耐えられ、短波長の赤外線をそのまま通過させます。また、処理チャンバー内に漂う化学物質からフィラメントを守ってくれます。
そして最も良い点は、もしシールドが汚れてしまっても、クォーツ管を交換するだけで済むということです。ランプ全体の配線を再設定する必要はありません。
注意すべき点
ただし、これは「プラグアンドプレイ」のような簡単なものではありません。 赤外線加熱は非常に強力なため、冷却装置に大きな負担がかかります。単純に古い空冷式の装置にこのランプを取り付けても、うまくいきません。 ヒートシンクをしっかり確認する必要があります。もしヒートシンクがチャンバー壁からの熱を処理できなければ、装置が変形してしまいます。 しかし、配線や冷却装置を適切に設定すれば、空気を加熱するためのエネルギーを無駄にせず、その熱を正しく部品に伝達できるようになります。