ウェーハを破壊するようなランプの故障を防ぎましょう。 ウェーハの硬化処理中にランプが故障すると、単なる停止時間の問題だけでは済みません。それは本当に厄介な状況です。 重負荷の下で石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがシリコン上に降り注ぎます。これは大変な混乱を招きます。だからこそ、私たち...

装置の内壁を加熱しないようにしましょう 半導体製造装置の内部を加熱するのは、かなり面倒な作業です。ウェーハや基板に大量の熱を与える必要がありますが、その熱が装置の内壁に伝わってしまうのは避けたいところです。 熱があちこちに放出されると、ケースの内壁がその熱を吸収してしまいます。そうなると、表面が危...