化学洗浄において、金メッキ処理が施された赤外線ランプを使うことで、安全性を確保できます。半導体製造工場で働く人なら、その重要性はよくわかるでしょう。化学洗浄の工程では、揮発性で可燃性の高い溶剤が使用されます。そんな環境に普通の赤外線ランプを使ったら、火災が起きる危険があります。
だからこそ、私たちは金メッキ処理が施された石英ランプを使用します。これにより、ランプが発火するのを防ぎ、熱が正確に必要な場所に集まるようになります。
なぜ金と石英なのか？
実は、石英の外殻に薄い金の層を塗ることで、光の放出スペクトルが変わります。つまり、ランプがより反射率の高くなるのです。そうすることで、熱がランプの内部に戻るのを防ぎ、赤外線エネルギーを直接ウェーハに照射できます。これにより、必要な場所により集中した高温が得られます。
石英は熱衝撃に強いですが、過酷な化学薬品がある環境では、単純なガラスだけでは不十分です。
危険な場所での安全対策
可燃性の蒸気が熱いフィラメントに触れたり、火花が発生したりするのを防ぐため、これらのランプは保護ケースに収められています。高品質のガスケットや密封処理が施されており、何も中に入ってこないようになっています。
また、故障したランプをそのまま外で交換してはいけません。まずはシステム内の空気を排出しなければなりません。私たちは、蒸気が凝縮して火災が発生するのを防ぐために、特別な構造を設計しています。
デメリットもある
温度が安定していなければ、ウェーハに欠陥が生じます。金メッキ処理によって出力が安定しますが、製造プロセスが少し複雑になります。また、このランプは少々デリケートで、衝撃に弱いです。金の層が傷ついたり、石英に微細なひびが入ったりすると、密封性が失われます。
ランプを正常に動作させるためのヒント： 取り付けブラケットがランプの端を圧迫しないようにしてください。機械的なストレスは避けるべきです。また、すぐに最大出力に設定しないでください。最初の数回の運転時は、徐々に出力を上げて、金の層を保護しましょう。