ウェーハ用高精度IRセンサー

IRランプによってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。 高負荷運転中にランプが壊れてしまったことがある人なら、その苦労はわかるでしょう。問題は単に停止時間だけではありません。むしろ、発生する破片やヘラジオンガスがシリコン表面に降り注ぐことが大きな問題です。一度でもランプが爆発すれば、二次的な汚染が...