300mmウェーハ赤外線均一加熱

300mmラインにおいて、フォトレジストのベークは熱予算を確定する工程である。エッジの過熱や冷却、ハードベーク中の温度ドリフトが発生すると、CDの均一性が崩れ、不良が積み上がる一方でスケジューラーは同じロットを繰り返し投入し続ける。そこで、300mmウェハ用IR加熱モジュールを開発し、その変動要因...