オゾンフリー赤外線ランプ

オーブンを待つのはやめよう：ウェーハを加熱するより良い方法 強制対流式の加熱法について言えば、これは古い方法です。要するに、大きな空間の空気を温めて、その熱が最終的にウェーハに伝わるのを待つというわけです。 問題は、時間がかかりすぎることです。タイマーを見ながら、空気が所定の温度になるのを待つ時間...