클래스 100(ISO 5) 수준의 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 작업할 때 가장 싫은 것은 난방 장치에서 입자나 유해 가스가 발생하여 작업물에 닿는 것입니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 일반적인 적외선 램프들은 이러한 상황에 적합하지...

장비의 내벽을 가열하는 것을 중단하세요. 반도체 제조 장비의 내부를 가열하는 것은 꽤 복잡한 문제입니다. 웨이퍼나 기판에 충분한 열을 공급해야 하지만, 그 열이 장비의 내벽으로 전달되는 것은 피해야 합니다. 열이 사방으로 퍼져나가면, 장비의 벽면이 그 열을 흡수하게...

화학적 세척 과정에서 금으로 코팅된 적외선 램프를 사용하여 안전을 유지하기 반도체 공장에서 일하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 화학적 세척 과정은 휘발성이 강하고 인화성이 높은 용매들이 가득한 위험한 환경입니다. 일반적인 적외선 램프를 그런 환경에 사용한다는 것은...