에어 나이프 장치가 장착된 적외선 램프

300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 반도 정도의 오차만 발생해도 양질의 제품이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 스캐너의 정밀도를 높이는 것만으로는 이 문제를 해결할 수 없습니다. 가열 과정 자체가 충분히 신중하게 설계되어야 합니다. 우리는 열에 의한...