장비의 내벽을 가열하는 것을 중단하세요.
반도체 제조 장비의 내부를 가열하는 것은 꽤 복잡한 문제입니다. 웨이퍼나 기판에 충분한 열을 공급해야 하지만, 그 열이 장비의 내벽으로 전달되는 것은 피해야 합니다.
열이 사방으로 퍼져나가면, 장비의 벽면이 그 열을 흡수하게 됩니다. 그 결과, 표면 온도가 위험할 정도로 높아지고, 장비가 과열되는 것을 막기 위해 냉각 시스템이 열심히 작동해야 합니다.
해결책은 바로 금입니다.
일반적인 적외선 램프는 열을 360도로 방출합니다. 이 문제를 해결하기 위해 고순도 금 반사체를 램프와 함께 사용합니다. 금은 단순히 장신구로만 사용되는 것이 아니라, 적외선 파장을 효과적으로 반사할 수 있습니다.
그래서 열이 사방으로 퍼지는 대신, 금이 열을 한 점으로 집중시킵니다. 그 결과, 에너지가 정확히 필요한 곳으로 전달됩니다. 장비의 내벽은 여전히 차가운 상태를 유지하며, HVAC나 냉각 장치도 안정적으로 작동할 수 있습니다.
유의해야 할 몇 가지 사항
모든 열을 한 점으로 집중시키기 때문에, 램프를 어디에 설치할지 신중히 고려해야 합니다. 너무 가까이 설치하면 부품들이 과열될 수 있고, 너무 멀리 설치하면 열이 퍼져나가서 효과적인 단열이 이루어지지 않습니다. 조절이 필요하지만, 그만한 가치가 있습니다.
사람들의 안전도 고려해야 합니다.
결국 이 모든 것은 안전을 위한 것입니다. 기술자가 장비를 점검할 때, 60°C나 되는 금속에 손이 화상을 입을 걱정을 하지 않아도 됩니다. 방향성 있는 적외선을 사용함으로써, 열이 주변 환경이 아닌 작업물에 집중됩니다. 전체적인 구조는 변하지 않지만, 작업 환경은 훨씬 더 안전해집니다.