초순수수 가열 램프

300mm 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중에 온도가 0.5도만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그로 인해 많은 웨이퍼들이 폐기되고 맙니다. 이러한 초고순도 물을 이용한 가열 장치는 단순한 추가 장비가 아닙니다. 이는 클래스 1–100 청정실 내에서...