대량 구매 적외선 전구 for fab

공정 현장에서 상황은 익숙할 것이다—포토레지스트 베이크 시 0.5도 정도의 편차만 있어도 선폭이 변동하고 CD 예산을 침식하며 다수의 웨이퍼가 폐기물로 전락한다. 팹 내 대용량 적외선 벌브는 단순한 히터가 아니다. 코팅/베이크 트랙과 경화 모듈에서 열 계측의 기준점...