웨이퍼용 고정밀 IR 센서

IR 램프가 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요 고부하 상태에서 램프가 고장 나는 경험을 해본 적이 있다면 그 불편함을 잘 알 것입니다. 문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 웨이퍼 위에 석영 조각과 할로겐 가스가 흩어지는 것도 큰 문제입니다. 한 번만 고장나도 전체...