화학적 세척 과정에서 금으로 코팅된 적외선 램프를 사용하여 안전을 유지하기
반도체 공장에서 일하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 화학적 세척 과정은 휘발성이 강하고 인화성이 높은 용매들이 가득한 위험한 환경입니다. 일반적인 적외선 램프를 그런 환경에 사용한다는 것은 마치 불을 부르는 짓과 같습니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 석영 램프를 사용합니다. 이 램프들은 특수한 캡슐로 감싸져 있어서 불이 붙는 것을 방지하며, 열이 정확히 필요한 곳에만 전달되도록 합니다.
왜 금과 석영인가?
비결은 석영 외부에 얇은 금 층을 코팅하는 것입니다. 이렇게 하면 방출되는 광선의 스펙트럼이 변하고, 결과적으로 램프가 더욱 반사적이 됩니다. 열이 램프 내부로 다시 흘러 들어가는 것을 막고, 적외선 에너지가 웨이퍼에 직접 전달됩니다. 따라서 원하는 곳에 보다 집중된 고강도의 열이 생성됩니다.
석영은 열충격에 강하지만, 강한 화학물질이 있는 환경에서는 단순한 유리만으로는 충분하지 않습니다.
위험한 환경에서의 안전 조치
인화성이 있는 증기가 뜨거운 필라멘트에 닿아 불이 날 수 있으므로, 이 램프들은 보호용 캡슐에 넣어져 있습니다. 고품질의 가스켓과 밀폐 장치를 사용하여 아무것도 들어오지 못하도록 합니다.
또한, 고장 난 램프를 그냥 바꾸는 것은 안 됩니다. 먼저 시스템 내의 기체를 제거해야 합니다. 우리는 램프 주변에 ‘Hot Spot’이 생기는 것을 막기 위해 특별한 구조를 설계했습니다. 왜냐하면 증기가 응축되어 불이 날 수 있는 곳이 바로 그곳이기 때문입니다.
단점들
온도를 정확하게 제어하지 못하면 웨이퍼에 결함이 생길 수 있습니다. 금 코팅은 출력을 안정시키는 데 도움이 되지만, 제조 공정을 좀 더 복잡하게 만듭니다.
또한 이 램프들은 조금 예민합니다. 충격을 받으면 안 됩니다. 금 층이 긁히거나 석영에 작은 균열이 생기면 밀폐 상태가 깨집니다.
램프를 잘 유지하기 위한 팁들
장착 브라켓이 램프의 끝부분을 압박하지 않도록 해야 합니다. 어떤 기계적인 스트레스도 좋지 않습니다. 또한, 처음부터 전력을 최대로 올리는 것은 금 층을 손상시킬 수 있으니, 천천히 전력을 올리는 것이 좋습니다.