真空チャンバー用赤外線ヒーター

半導体製造における炭素削減：なぜ赤外線加熱が効果的か 半導体の製造には熱が不可欠ですが、従来の方法は、率直に言って非効率的です。従来の抵抗加熱器では、ウエハーを適切な温度にするために、チャンバー全体を加熱してしまいます。まるで、コーヒー一杯を温めるために家全体を温めるようなものです。 そこで役立つ...