半導体製造工場での無駄なエネルギー消費を止めよう 正直に言えば、半導体製造工場でのエネルギーの無駄遣いは、単なるコストの問題だけではありません。それは設計上の欠陥です。 ウェーハを加熱するとき、単に「高温になる」だけで十分ではありません。光子が実際にシリコンに当たる必要があります。しかし、多くの場...

もう、無駄な時間を過ごすのはやめましょう。なぜなら、赤外線加熱こそが製造ラインにとって最適な解決策だからです。 多くの古い半導体製造ラインでは、依然として強制送風式の加熱方法が使われています。これは効率の悪い方法で、空気を送り込んでチャンバー全体を温め、その後はただ待つしかありません。実質的には、...

ウェーハをきれいに保つために：なぜランプの設計が重要なのか もし、大量生産時にランプが爆発してしまった経験があるなら、それがどれほど深刻な問題かお分かりでしょう。一度爆発すると、チャンバー内は石英の破片や金属の粉で埋め尽くされてしまいます。これは大惨事です。廃棄されるウェーハだけでなく、チャンバー...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 もしご自身が半導体製造工場を運営しているなら、汚染された製品ができてしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、加熱要素から粒子やガスが放出されてはいけません。そんなことは絶対に起こってはいけないのです。 一般的なIRランプは、...

スマートな乾燥システムを実際に機能させるために もしあなたがインダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、優れたソフトウェアだけでは不十分だということは既にご存知でしょう。世界で最も優れたダッシュボードを持っていても、ハードウェアがデータと通信できないのであれば、それは単なる推...

なぜ私たちが対流型オーブンをIR硬化装置に切り替えているのか 正直に言うと、昔ながらの対流型オーブンはもはや時代遅れです。速度が遅く、大きくて重い上、特に今では無鉛化やグリーンエネルギーの基準が求められている中で、もはや使い物になりません。 そのため、私たちは認定された赤外線硬化ランプを使用してい...

半導体製造用の高出力赤外線ランプ 製造装置の交換が必要ですか？私たちがその解決策を提供します。当社の在庫には、元の装置と同等の出力と信頼性を持つ赤外線ランプが豊富にあります。 これらは普通のヒーターではありません。半導体加工の厳しい要求に対応するように設計されており、正確な温度制御と迅速な反応速度...

ファブの現場では、ソフトベイクは単なる工程の一つに過ぎません。実際には、それはリソグラフィー工程全体の温度制御を担う重要な要素です。ウェハ全体の温度が0.5℃でも変動すると、CDの精度が低下し始めます。線幅のばらつきも増え、歩留まりも著しく悪化します。OEM製のランプでも一定の出力は得られますが、...

LCDファブフロアにおける熱ドリフト LCDファブフロアでは、熱ドリフトはネオン看板のようには現れない。ただ静かにオーバーレイマージンを消費し、CD均一性のネジを締め、フォトレジストプロファイルをターゲットから外してしまう。ベイクステップがガラス全体でセットポイントを維持できない場合、スクラップさ...

ファブの現場ではご存じの通り、フォトレジストのベーク温度がわずか0.5℃ずれるだけで、ライン幅が変わり、CDバジェットを圧迫し、多数のウェハがスクラップになる可能性があります。ファブ内の大容量赤外線バルブは単なる加熱器ではありません。コート／ベークトラックや硬化モジュールにおける熱計測の基準となっ...