なぜ私たちが対流型オーブンをIR硬化装置に切り替えているのか 正直に言うと、昔ながらの対流型オーブンはもはや時代遅れです。速度が遅く、大きくて重い上、特に今では無鉛化やグリーンエネルギーの基準が求められている中で、もはや使い物になりません。 そのため、私たちは認定された赤外線硬化ランプを使用してい...

ファブ内では、リソグラフィーにおける熱管理は、ソフトベイクとハードベイクから始まります。ウェーハ全体で1.5℃の温度変動があったり、冷却された部分があったりすると、重要な寸法が急速に変化してしまいます。そうなると、大量のウェーハが廃棄され、生産が停滞してしまいます。 私たちは、このような状況を防ぐ...