ヒーターがクリーンルームを台無しにするのを防ぎましょう。 クラス100の環境で作業している場合、エアフィルターだけでは不十分だということはすでにご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。 一般的な赤外線ランプは、無菌環境においては大きな問題となります。安価なバインダーや品質の低いガラスが...

IRランプによってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。 高負荷運転中にランプが壊れてしまったことがある人なら、その苦労はわかるでしょう。問題は単に停止時間だけではありません。むしろ、発生する破片やヘラジオンガスがシリコン表面に降り注ぐことが大きな問題です。一度でもランプが爆発すれば、二次的な汚染が...

化学的な洗浄後にMEMSセンサーワークを乾燥させるのは、非常に危険な作業です。なぜでしょうか？それは、まるで火遊びをしているようなものだからです。空気中に可燃性や爆発性のある化学物質の蒸気が漂っている状態では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要因となります。わずかな火花や、端子の...

ファブ内では、水素センサー用のヒーターは、どんな状況でも安定して動作する必要があります。ソフトベイクやハードベイクの際に温度が半度でも変動してしまうと、重要な寸法制御が崩れ、生産ラインが停止してしまいます。私たちは、このヒーターをクラス1～100のクリーンルーム内で、日々連続して使用できるように設...