フォトレジスト硬化用赤外線ランプ

ファブ内では、リソグラフィーにおける熱管理は、ソフトベイクとハードベイクから始まります。ウェーハ全体で1.5℃の温度変動があったり、冷却された部分があったりすると、重要な寸法が急速に変化してしまいます。そうなると、大量のウェーハが廃棄され、生産が停滞してしまいます。 私たちは、このような状況を防ぐ...