持続可能なファブ製造ソリューション
半導体製造工場での無駄なエネルギー消費を止めよう
正直に言えば、半導体製造工場でのエネルギーの無駄遣いは、単なるコストの問題だけではありません。それは設計上の欠陥です。
ウェーハを加熱するとき、単に「高温になる」だけで十分ではありません。光子が実際にシリコンに当たる必要があります。しかし、多くの場...
カーボンナノチューブ用加熱装置
なぜカーボンナノチューブの製造に赤外線を使用するのか? もし、カーボンナノチューブを成長させようとしたことがある人なら、その困難さはご存知でしょう。正確な温度制御が必要であり、しかもその温度をすぐに実現しなければなりません。 現代的で効率的な製造ラインを構築する際には、従来のヒーターではなく、高強...
水素センサー製造用ヒーター
ファブ内では、水素センサー用のヒーターは、どんな状況でも安定して動作する必要があります。ソフトベイクやハードベイクの際に温度が半度でも変動してしまうと、重要な寸法制御が崩れ、生産ラインが停止してしまいます。私たちは、このヒーターをクラス1~100のクリーンルーム内で、日々連続して使用できるように設...