超純水加熱ランプ

300mmラインでは、ソフトベイクの際に温度が半度程度変動するだけで、重要な寸法の基準を満たせなくなり、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。そのため、超純水を加熱するためのランプは単なる付属品ではありません。それは、クラス1～100の清浄室内でフォトレジストの処理を安定させるための重要な要素...