工業用ウェーハ乾燥システム用ヒーター

製造現場では、ウェーハが洗浄液から取り出された瞬間からタイマーが動き始めます。残留水分は大きな問題です。すぐに汚れが発生し、わずかな水滴でも生産ライン全体を台無しにしてしまうことがあります。設定温度を常に維持できるヒーターが必要です。ウェーハ全体にわたって、常に一定の温度を保つことが求められます。...