もう推測する必要はありません：なぜIRがよりスマートな製造工程の鍵となるのか インダストリー4.0に対応した製造工程を構築しようとしているなら、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているでしょう。レンガのように機能する加熱素子を使って、高度でデータ駆動型の生産ラインを運用することはでき...

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に部品を交換すれば済むというわけではなく、破損によって生じる混乱も問題です。 クォーツチューブがウェーハカートリッジ上で破裂すると、ガラスの破片や金属酸...

「ガラスの雨」を防ぐ：IRランプの故障に対するより良い対処法 高負荷の半導体製造環境では、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や短時間の停止だけでは済みません。それはまさに悪夢です。石英管が割れると、単に電球が壊れただけでなく、破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。このような二次的な汚染によって...

クラス100のクリーンルームにおける粒子問題の解決策 もし半導体製造工場でクラス100のクリーンルームを管理しているなら、その苦労はよく知っているはずです。最も厄介なのは、発ガスの問題です。 一般的な発熱体は、このような環境では使えません。作動温度に達するとすぐに粒子が放出されたり、揮発性有機化合...

化学洗浄において、金メッキ処理が施された赤外線ランプを使うことで、安全性を確保できます。半導体製造工場で働く人なら、その重要性はよくわかるでしょう。化学洗浄の工程では、揮発性で可燃性の高い溶剤が使用されます。そんな環境に普通の赤外線ランプを使ったら、火災が起きる危険があります。 だからこそ、私たち...

半導体製造装置用ヒーター部品：アメリカや日本製品と同等の品質、しかし高価ではない 私たちが製造するのは、アメリカや日本の有名メーカーの製品にも負けない品質を誇る半導体製造装置用ヒーター部品です。妥協のない高品質です。しかし、コストも厳しく管理しているため、必要な性能を得るために無駄な出費をする必要...