ヒーターがクリーンルームを台無しにするのを防ぎましょう。 クラス100の環境で作業している場合、エアフィルターだけでは不十分だということはすでにご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。 一般的な赤外線ランプは、無菌環境においては大きな問題となります。安価なバインダーや品質の低いガラスが...

パッケージング工程において、フォトレジストを焼成する際に0.3°Cの温度変動があれば、許容範囲を超えてウェーハが不良品となってしまいます。そこで私たちは、このような温度変動を根本的に解消するためのMini LEDチップ用のパッケージングランプを開発しました。これにより、シフトごとにも温度が安定して...