クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もしご自身が半導体製造工場を運営しているなら、汚染された製品ができてしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、加熱要素から粒子やガスが放出されてはいけません。そんなことは絶対に起こってはいけないのです。
一般的なIRランプは、高い熱ストレスによって壊れてしまいます。劣化したり、剥がれ落ちたりして、微細な破片が生産ラインに入ってしまいます。これは大変な問題です。
私たちは、高純度の合成石英を使用することでこの問題を解決しています。
石英が重要な理由
私たちは、水酸基（OH）含有量が少ない融合シリカを使用しています。つまり、高温になっても管が変形したり剥がれ落ちたりすることがありません。
また、短波長の赤外線をほとんど吸収せずにそのまま通すのにも優れています。これは大きな利点です。なぜなら、ウェハーや基板が熱を受ける間、管自体は比較的涼しく保たれるからです。
工場内での取り付け
誰も、ランプを交換するためだけにラック全体を再設計したくはありません。そのため、私たちは、すぐに取り付けられるように設計しています。長さや直径の公差を非常に厳しく管理しているので、簡単に取り付けられます。
また、特殊な電極も使用しています。これにより、時間が経っても酸化したり劣化したりすることがないので、メンテナンスの手間も大幅に減ります。
ひとつ注意点として、電力密度にも気をつけてください。高ワット数のランプは、目標温度に素早く到達しますが、多くの電力を消費します。もし狭い空間で2000W以上の電力を使う場合は、ランプの端付近の熱を処理できる冷却ファンがあるか必ず確認してください。
もう「バーンイン」の心配は不要
実は、大事なのは高価なコーティングではなく、原材料となる石英の純度と、それをどのように洗浄するかです。
私たちは、製品が工場を出る前に、あらゆる有機物を除去しています。通常、新しいランプは、点灯した瞬間に炭素粒子をクリーンルーム内に放出します。しかし、私たちのランプではそういうことは起こりません。接続してスイッチを入れるだけで、最初からクリーンな状態で動作します。