ファブランプ用替えフィラメント

ファブの現場では、ソフトベイクは単なる工程の一つに過ぎません。実際には、それはリソグラフィー工程全体の温度制御を担う重要な要素です。ウェハ全体の温度が0.5℃でも変動すると、CDの精度が低下し始めます。線幅のばらつきも増え、歩留まりも著しく悪化します。OEM製のランプでも一定の出力は得られますが、...