クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100（ISO 5）の環境で作業を行うとき、最も避けたいのが、ヒーターから粒子やガスが放出されて作業対象物に付着することです。それは本当に厄介な問題です。一般的な赤外線ランプでは、高温になるとコーティングが剥がれ落ちてしまいます。 私た...

装置の内壁を加熱しないようにしましょう 半導体製造装置の内部を加熱するのは、かなり面倒な作業です。ウェーハや基板に大量の熱を与える必要がありますが、その熱が装置の内壁に伝わってしまうのは避けたいところです。 熱があちこちに放出されると、ケースの内壁がその熱を吸収してしまいます。そうなると、表面が危...