ファブ用の赤外線バルブをまとめて購入する

ファブの現場ではご存じの通り、フォトレジストのベーク温度がわずか0.5℃ずれるだけで、ライン幅が変わり、CDバジェットを圧迫し、多数のウェハがスクラップになる可能性があります。ファブ内の大容量赤外線バルブは単なる加熱器ではありません。コート／ベークトラックや硬化モジュールにおける熱計測の基準となっ...