エアナイフユニット付き赤外線ランプ

300mmラインでは、フォトレジストを加熱する際に半度程度のずれが生じるだけで、本来良品であるはずのものが不良品になってしまいます。スキャナーの精度を高めるだけでは解決できません。加熱工程自体が十分な信頼性を持っていなければなりません。 私たちは、熱によるずれや汚染という問題に対処するために、赤外...