以下に、次の分類用語を使用するページがあります “球根” 金製反射板付き赤外線ライト 装置の内壁を加熱しないようにしましょう 半導体製造装置の内部を加熱するのは、かなり面倒な作業です。ウェーハや基板に大量の熱を与える必要がありますが、その熱が装置の内壁に伝わってしまうのは避けたいところです。 熱があちこちに放出されると、ケースの内壁がその熱を吸収してしまいます。そうなると、表面が危... Read more...
金製反射板付き赤外線ライト 装置の内壁を加熱しないようにしましょう 半導体製造装置の内部を加熱するのは、かなり面倒な作業です。ウェーハや基板に大量の熱を与える必要がありますが、その熱が装置の内壁に伝わってしまうのは避けたいところです。 熱があちこちに放出されると、ケースの内壁がその熱を吸収してしまいます。そうなると、表面が危... Read more...