クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

なぜクリーンルームでは強制送風式の加熱装置を使わず、赤外線ヒーターを採用するのか？ ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式の加熱装置が使われている。これは昔からのやり方で、まず空気を温め、その空気が部品を温めることを期待するのだ。しかし問題は、この方法では時間がかかりすぎることだ。莫...