带风刀装置的红外灯

在300毫米光刻机中，光刻胶烘烤过程中哪怕只有半度的偏差，都可能让原本合格的产品变成废品。仅通过缩小扫描器的精度范围是无法解决这个问题的。烘烤过程本身必须具备足够的精确度。 我们设计了一种带有内置空气刀的红外灯，以此来解决两个主要问题：热漂移和污染。这些问题会在你察觉到之前就破坏产品的重复性。 关...