红外发射器陶瓷端盖

在制造车间，烘烤曲线会漂移——产量受到影响。传统的发射器无法在整个晶圆上保持温度。你最终会发现边缘未充分固化，而中心区域却过热。这种变异浪费了时间、能量和良品。 从技术上看，重要的是什么 我们使用的陶瓷端盖红外发射器提供亚毫米级的均匀热分布。结果是在晶圆级别上的热均匀性达到 ±0.1°C。陶瓷主体...