节能型晶圆加热器

为什么我们要抛弃传统的烤箱，转而使用红外固化技术？ 长期以来，半导体制造一直依赖那些巨大的对流式烤箱。但说实话，它们已经过时了。我们现在转向使用红外固化技术，因为这种技术能够实现“绿色”且无铅的加工目标，而这正是当今大家都追求的。 与对流式烤箱不同，红外固化技术利用的是电磁辐射。这些辐射直接作用于...