MEMS传感器晶圆干燥加热器

在经过化学清洁处理后，对MEMS传感器晶圆进行干燥是一个极其危险的过程。为什么呢？因为这简直就是在玩火啊！当空气中存在易燃或易爆的化学蒸汽时，普通的红外灯不仅无法起到作用，反而会成为引发火灾的隐患。只要有一个微小的火花或某个接点过热，就有可能引发爆炸。这种状况简直就是噩梦，让工厂管理者夜不能寐。...