无臭氧红外灯

别再等待烤箱加热了：更有效的晶圆加热方式 说实话，强制对流式加热其实是一种过时的方法。它其实只是让一大团空气变热，然后希望热量能传递到晶圆上而已。 问题在于，这个过程需要很长时间。你花费在等待空气升温上的时间，远远超过实际加工晶圆的时间。这无疑是一个巨大的瓶颈。 快速消除等待时间 我们决定不再依赖...