真空室红外加热器

在半导体制造过程中减少碳排放：为什么红外加热方案如此有效？ 半导体制造本质上与热量处理密切相关，但传统的加热方式其实相当浪费资源。大多数传统电阻式加热器会加热整个腔室内的空气，从而让里面的所有物品都升温，只为达到晶圆的理想温度。这就好比为了加热一杯咖啡而把整间房子都加热起来一样。 而真空红外加热器...