标签为“散装”的页面如下 批量购买用于制造的红外灯泡 在晶圆厂车间,你很清楚流程——光刻胶烘烤温度漂移半度,就可能导致线宽变化,侵蚀CD预算,进而使大量晶圆报废。晶圆厂内的大功率红外灯不仅仅是加热器,它们是涂布/烘烤线和固化模块中热量计量的基准。 关键技术点 我们采用石英卤素结构构建短波红外灯泡,确保稳定性和快速响应,从而在烘烤板上实现±0.1°C以... Read more...
批量购买用于制造的红外灯泡 在晶圆厂车间,你很清楚流程——光刻胶烘烤温度漂移半度,就可能导致线宽变化,侵蚀CD预算,进而使大量晶圆报废。晶圆厂内的大功率红外灯不仅仅是加热器,它们是涂布/烘烤线和固化模块中热量计量的基准。 关键技术点 我们采用石英卤素结构构建短波红外灯泡,确保稳定性和快速响应,从而在烘烤板上实现±0.1°C以... Read more...