用于晶圆的精密红外传感器

防止红外灯损坏您的晶圆 如果您曾经遇到过在高负荷运行过程中灯珠突然爆裂的情况，那您肯定知道那有多糟糕。问题不仅在于设备需要停机维修，更在于由此产生的混乱状况。石英碎片和卤素气体会落在硅片上，造成严重污染，甚至可能毁掉整批产品。这是个代价高昂的错误，但实际上完全可以避免。我们设计的精密红外灯就是为了...