防止碎片飞溅：保护晶圆免受灯管故障的损害 在高产量的半导体生产线上，如果红外灯管突然损坏，那可真是麻烦大了。问题不仅仅在于需要更换灯管，更在于由此造成的混乱状况。 当石英管在晶圆传送过程中破裂时，玻璃碎片和金属氧化物颗粒会掉落在晶圆上，导致晶圆直接报废。我们花了大量时间来寻找方法，确保这种事情不会...

如何让100级洁净室始终保持洁净状态 如果你经营着半导体制造工厂，那么你一定很清楚产品被污染所带来的灾难性后果。在100级洁净环境中，加热元件绝不能释放任何颗粒或气体，否则就会造成严重问题。 大多数普通红外灯在高温环境下会迅速损坏，它们会老化、出现裂纹，进而将微小的碎片散布到生产线上。这无疑是一场...

为什么我们在洁净室中放弃使用强制空气加热方式，转而采用红外线加热？ 大多数半导体生产线仍然依赖强制空气对流式加热器。这是一种传统的方法：先加热空气，再希望空气能把热量传递给芯片。但问题在于，这个过程需要很长时间，会浪费大量时间。 此外，在洁净室里，让大量空气流动其实相当于邀请灰尘进入工厂。空气流动...