洁净室烤箱红外加热器

为什么我们在洁净室中放弃使用强制空气加热方式，转而采用红外线加热？ 大多数半导体生产线仍然依赖强制空气对流式加热器。这是一种传统的方法：先加热空气，再希望空气能把热量传递给芯片。但问题在于，这个过程需要很长时间，会浪费大量时间。 此外，在洁净室里，让大量空气流动其实相当于邀请灰尘进入工厂。空气流动...