在化学清洗过程中，使用镀金红外灯可以确保安全。如果你在半导体制造厂工作，那你肯定知道其中的危险——化学清洗过程中会使用许多易挥发、易燃的溶剂。如果将普通红外灯放入这种环境中，那就等于自找麻烦，因为那样很可能会引发火灾。
因此，我们使用的是镀金石英灯。这种灯具被包裹在特殊的密封结构中，这样可以防止其被点燃，同时确保热量能够准确地传递到需要加热的位置。
为什么要用黄金和石英？
其实，我们在石英外壳上涂上一层薄薄的黄金。这层黄金可以改变红外线的发射光谱，换句话说，就是让光源更具反射性。这样一来，热量就不会泄漏到灯具的外壳中，而是直接照射到晶圆上。这样就能在需要的地方产生更集中、更强烈的热量。
不过，虽然石英具有良好的耐热性能，但在处理强腐蚀性化学物质时，仅靠玻璃材质是远远不够的。
在危险环境中保障安全
为了防止易燃蒸汽接触到加热的灯丝并引发火花，我们会将这些灯具密封在防护罩中。我们需要使用高质量的密封件来确保没有杂质进入灯具内部。
另外，请注意：不能在户外直接更换烧坏的灯具。必须先对系统进行净化处理。我们设计的灯具结构能够有效避免“热点”现象的产生，因为正是这些地方容易让蒸汽凝结并引发火灾。
存在的缺点
如果温度控制不准确，就可能导致晶圆出现缺陷。虽然镀金层有助于稳定输出，但这也使得制造过程变得更加复杂。
此外，这类灯具也有些娇气，不能受到撞击。如果黄金层被刮伤或石英出现微裂纹，那么密封效果就会丧失。
一些保持灯具正常运行的建议： 确保固定灯具的支架不会挤压灯管的末端。任何机械应力都是有害的。另外，也不要立即将功率调到最高。应逐步增加功率，以保护黄金层在最初的几轮工作中不受损伤。