如何确保100级洁净室的清洁状态 在维持100级（ISO 5）洁净环境时，最糟糕的情况就是加热元件会释放出颗粒物或气体，从而污染工作区域。这简直就是一场噩梦。大多数普通的红外灯根本不适合用于这种场合——因为一旦温度升高，它们的涂层就会脱落。 我们找到了更好的解决方案：使用带有薄层金涂层的纯度极高的...

停止为设备内部壁面加热 为半导体加工设备内部提供热量其实是一件麻烦事。虽然需要向晶圆或基底输送大量热量，但同时又不能让这些热量渗透到设备的内部壁面中。 当热量四处扩散时，设备的侧壁就会吸收这些热量。这样一来，设备表面就会变得非常烫，而冷却系统则不得不持续工作以防止设备过热损坏。 关键在于使用黄金反...

在化学清洗过程中，使用镀金红外灯可以确保安全。如果你在半导体制造厂工作，那你肯定知道其中的危险——化学清洗过程中会使用许多易挥发、易燃的溶剂。如果将普通红外灯放入这种环境中，那就等于自找麻烦，因为那样很可能会引发火灾。 因此，我们使用的是镀金石英灯。这种灯具被包裹在特殊的密封结构中，这样可以防止其...