린스용 방수 적외선 램프
화학 세척 구역에서 적외선 히터를 계속 사용하는 방법
솔직히 말해서, 적외선 히터를 화학 세척 구역에 설치하는 것은 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 고온과 가연성 또는 폭발성 기체가 섞이면, 아주 작은 스파크나 밀폐성 저하만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니...
웨이퍼 경화 램프용 반사판
와이퍼가 손상되는 것을 막아보세요.
와이퍼를 건조하는 과정에서 램프가 고장나면, 단순한 가동 중단 문제가 아니라 심각한 문제가 발생합니다. 마치 악몽과도 같죠.
무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 갑자기 유리 조각들과 할로겐 가스가 실리콘 위로 쏟아...
팹 램프용 석영 유리 실드
더 이상 무의미한 기다림을 그만두세요: 왜 적외선 가열이 제조 라인에 최적의 솔루션인지
대부분의 구형 반도체 제조 라인들은 여전히 강제적인 열풍을 사용하고 있습니다. 이 방식은 매우 느립니다. 공기를 불어넣어 전체 챔버를 가열한 다음, 그저 기다리기만 해야 합니다....
트윈 튜브 골드 코팅 램프
클래스 100(ISO 5) 수준의 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 작업할 때 가장 싫은 것은 난방 장치에서 입자나 유해 가스가 발생하여 작업물에 닿는 것입니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 일반적인 적외선 램프들은 이러한 상황에 적합하지...
탄소섬유 적외선 램프 제조업체
와이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 램프 설계가 왜 중요한가?
고부하 상태에서 램프가 파손된 적이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 순식간에 실내가 석영 조각과 금속 입자들로 가득 차버립니다. 이는 큰 재앙입니다. 단순히 폐기해야 할 웨이퍼만 있...
오존이 없는 적외선 램프
오븐을 기다리는 일은 그만두세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법
강제 대류 방식에 대해 솔직히 말하자면, 이건 구식 방법입니다. 결국 큰 공간의 공기를 가열한 다음, 그 열이 웨이퍼까지 전달되기를 기다리는 것에 불과합니다.
문제는 시간이 너무 오래 걸린다는 점...
반도체용 금 도금 적외선 램프
화학적 세척 과정에서 금으로 코팅된 적외선 램프를 사용하여 안전을 유지하기
반도체 공장에서 일하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 화학적 세척 과정은 휘발성이 강하고 인화성이 높은 용매들이 가득한 위험한 환경입니다. 일반적인 적외선 램프를 그런 환경에 사용한다는 것은...
UHP(초고순도) 히터 램프
왜트를 낭비하지 마세요: 골드 코팅된 UHP 램프의 비밀
반도체 웨이퍼 가공 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 단순한 예산 문제가 아니라, 설계상의 결함입니다.
일반적인 UHP 램프는 방사선을 사방으로 방출합니다. 이로 인해 에너지의 일부만이 웨이퍼에 도달하고, 나머지...
공인된 적외선 경화 램프 제조업체
왜 우리가 대류식 오븐 대신 적외선 건조기를 사용하는가?
솔직히 말해서, 그 옛날식 대류식 오븐들은 이미 구식이에요. 속도도 느리고, 크기도 크며, 요즘처럼 무연 및 친환경 에너지 기준이 강조되는 시대에는 더 이상 적합하지 않습니다.
그래서 우리는 인증받은 적외선 건...
IR 램프용 알루미늄 반사판
알루미늄 반사기가 장착된 IR 램프: 정확한 위치에 열을 전달하고, 낭비를 최소화합니다.
우리가 이러한 알루미늄 반사기가 장착된 IR 램프를 만든 이유는, 열을 정확히 필요한 곳에만 전달하여 다른 곳으로의 열 유출을 막기 위함입니다. 반도체 및 정밀 제조 분야에서는...
RTP 할로겐 램프 교체
RTP 할로겐 램프 교체: 스마트한 솔루션
솔직히 말해서, 이 RTP 할로겐 램프는 단 하나의 목적을 위해 만들어졌습니다. 바로 미국 및 일본의 유명 브랜드 제품과 동등한 성능을 제공하는 것입니다. 하지만 그 고가의 브랜드 제품을 구입할 필요는 없죠.
핵심은 품질을...
에어 나이프 장치가 장착된 적외선 램프
300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 반도 정도의 오차만 발생해도 양질의 제품이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 스캐너의 정밀도를 높이는 것만으로는 이 문제를 해결할 수 없습니다. 가열 과정 자체가 충분히 신중하게 설계되어야 합니다.
우리는 열에 의한...
미니 LED 칩 포장형 램프
패키징 공정에서, 포토레지스트를 소성하는 동안 0.3°C만큼의 온도 변동이 있어도 허용 오차를 벗어나 웨이퍼가 폐기물이 될 수 있습니다. 저희는 이러한 온도 변동을 근본적으로 해결하기 위해 미니 LED 칩 패키징용 램프를 개발했습니다. 그 덕분에 공정 중에도 온도가...
초순수수 가열 램프
300mm 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중에 온도가 0.5도만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그로 인해 많은 웨이퍼들이 폐기되고 맙니다. 이러한 초고순도 물을 이용한 가열 장치는 단순한 추가 장비가 아닙니다. 이는 클래스 1–100 청정실 내에서...
포토레지스트 경화용 적외선 램프
팹 내에서 리소그래피 공정의 열 관리는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계부터 시작됩니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1.5°C 정도의 온도 변화가 생기거나 특정 부분이 차가워지면, 중요한 치수들이 빠르게 변하게 됩니다. 이로 인해 전체 제품이 폐기되고 생산라인의 작업이 중단...
팹 램프용 교체 필라멘트
제조 현장에서 ‘부드러운 베이킹 과정’은 단순한 추가 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이는 전체 리소그래피 공정의 핵심적인 요소입니다. 웨이퍼 전체의 온도가 0.5°C만 변동해도 CD 제어가 어려워집니다. 라인의 균일성도 떨어지고, 생산 효율도 현저히 저하됩니다....