웨이퍼 경화 램프용 반사판
와이퍼가 손상되는 것을 막아보세요.
와이퍼를 건조하는 과정에서 램프가 고장나면, 단순한 가동 중단 문제가 아니라 심각한 문제가 발생합니다. 마치 악몽과도 같죠.
무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 갑자기 유리 조각들과 할로겐 가스가 실리콘 위로 쏟아...
포토레지스트 경화용 적외선 램프
팹 내에서 리소그래피 공정의 열 관리는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계부터 시작됩니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1.5°C 정도의 온도 변화가 생기거나 특정 부분이 차가워지면, 중요한 치수들이 빠르게 변하게 됩니다. 이로 인해 전체 제품이 폐기되고 생산라인의 작업이 중단...